薄膜形成

• ロードポート(load port)：半導体製造装置においてカセットを投入、払い出しをするために外部機器(AGV,OHT,PGVなど)とカセットの受け渡しを行う装置部分。
• ゲートバルブ(gate valve)：半導体製造装置の反応室、搬送室及びロードロック室などを仕切るためのバルブ。
• インジェクタノズル(injector nozzle)：CVD装置、エピタキシャル成長装置などの反応室内にガスを供給するためのガス吹き出し部分。