2007-01-24から1日間の記事一覧
昼 オークションって結構みんなやってるんですね、会社の先輩が格安でサイクロン掃除機をゲット。形はガンダム?ザク?っぽい(ガンダムよく知らないけど・・・)かなりかっちょいい、吸い込み力抜群だけどかなりうるさい・・・サイクロンなのでゴミが吸われて回転し…
長いこと半導体の仕事についていながら用語だけいっぱいの中身空っぽになっていた頭の中の情報をひとつ、ひとつつなげる役割をしてくれています。
成膜均一性(process uniformity):ウェーハ上に均一に薄膜が形成されたかを知る為の判定方法。ウェーハ面内、ウェーハ間(バッチ処理装置)、バッチ間などがある。 ホットウォール(hot wall):CVD装置において、反応室の外側からヒータ加熱等を用いて反応室内…